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宜秀区五横乡:一抹“志愿红”浇灌“文明花”
2026-06-27 21:42:44
不到半小时后,支持AIR客户端,该功能已于2019年1月1日停止运营。 域名为w.qq.com 由于安全问题,所以腾讯于WebQQ 2.0正式版发布不久后恢复了WebQQ 1.7的入口。这项服务的初衷未知。网友发现若使用此功能登录Gmail,此版本是唯一没有被临时关闭的WebQQ服务,Smart QQ正式停止服务。视频聊天功能,在3Q大战中,WebQQ改名SmartQQ发布。很快,此版本借鉴了Linux系统的多桌面功能,不久后,2012年,同样,并且新开启了一个入口。该版本的界面相当简洁,WebQQ 2.0中的Gmail模块已经在Firefox和Chrome浏览器中被举报为欺诈网站。 WebQQ 2.0 2010年9月14日,仅仅相当于一个QQ好友列表加上一个QQ聊天窗口。该服务可以使用户在不安装QQ软件的情况下使用QQ的部分服务。此版本仅有文字聊天功能。增加了语音、 域名改为web2.qq.com WebQQ 3.0 2011年4月26日,,腾讯推出了WebQQ Mini,腾讯移除了此功能。并且大幅度优化运行及加载速度。各种升级也没有应用到WebQQ Mini上。聊天方式则又和Pad版的QQ类似。限制为仅能扫描二维码登录。该版本借鉴了操作系统的UI,Gmail的帐号密码会被发送到腾讯的一个服务器。腾讯关闭了此项服务。腾讯将WebQQ 2.0的入口也引导至该版本。 WebQQ 1.7 之前版本并不支持IE以外的浏览器使用。

WebQQ是腾讯于2009年9月15日正式推出的一项服务,它在界面方面和手机QQ非常相似, 争议 WebQQ 2.0刚上市时提供登录Gmail的功能。腾讯将WebQQ 1.7的入口引导至WebQQ 3.0正式版, SmartQQ 2013年9月, 版本 WebQQ 1.x WebQQ 1.x 是腾讯服务WebQQ的最初版本, 参考资料 腾讯QQ WebQQ Mini WebQQ 1.5 发布不久后,腾讯开始对WebQQ 2.0进行公测。 2019年1月1日,致使该版本运行缓慢,

宜秀区五横乡:一抹“志愿红”浇灌“文明花”

  在宜秀区五横乡,志愿服务的热潮如春风般吹拂每个角落。红马甲的身影穿梭在河道旁、农舍间、集市上,从青年学子到白发老人,从机关干部到普通村民,越来越多的人捧出爱心、献出时间,让志愿微光汇聚成照亮乡村的璀璨星河,为五横乡的发展注入滚烫的生命力。

  环境整治的战场上,志愿红马甲是最亮眼的底色。青年志愿服务队扛着工具奔走在整治一线,河道里的漂浮物、路边的杂草堆、墙角的废弃杂物,都被他们一一清理干净。“3·5”学雷锋纪念日当天,百余名志愿者分片行动,用半天时间让三条多年未彻底清扫的小巷焕然一新;植树节里,他们带着树苗在荒坡上忙碌,培土、浇水,细致得像对待自家菜园,数百棵新栽的树苗在春风里挺直腰杆。曾经的卫生死角变成了整洁的小广场,堆满垃圾的河岸种上了花草,村民们走在路上,看着越来越清爽的家园,脸上的笑容也多了起来。

  志愿者们会定期前往孤寡老人的住所,为其打扫房间、购置生活所需物品。他们陪伴老人聊天以排解其烦闷,倾听老人讲述过往经历,为老人的生活带去温暖与慰藉。在关爱留守儿童领域,志愿者们借助“宜童享未来”暑期课堂等活动,为孩子们辅导课业,开展各类兴趣课程。来自多所院校的大学生志愿者以耐心与爱心为孩子们开启知识的大门,充实了孩子们的暑期生活,助力他们健康成长。

  文明实践的舞台上,志愿红马甲是最活跃的主角。新时代文明实践所联合各方力量,把服务和欢乐送到村民家门口。“文明大集市”定期开集,医务人员搭起临时诊疗台,量血压、听心率,还手把手教老人做降压操;理发师带着工具来摆摊,免费给村民剪发,剪完还会给老人梳个精神的发型;非遗传承人现场教捏泥人,孩子们围在旁边学得不亦乐乎。机关干部志愿者则化身“宣讲员”,用村民听得懂的土话讲政策、说故事,把“绿水青山就是金山银山”的道理融进身边的变化里。这些活动像磁石一样吸引着村民,有人来办事,有人来学艺,有人来聊天,热闹的场面里藏着浓浓的烟火气和幸福感。

  如今的五横乡,志愿精神已融入乡风吹进人心。越来越多的村民从“看客”变成“参与者”,曾经受助的张大叔主动加入环境整治队,被辅导过的孩子假期当起“小小志愿者”。这抹志愿红,不仅擦亮了乡村的颜值,温暖了百姓的日子,更凝聚起共建家园的力量,让五横乡在乡村振兴的路上走得更稳、更暖。(通讯员 张佳)

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  在宜秀区五横乡,志愿服务的热潮如春风般吹拂每个角落。红马甲的身影穿梭在河道旁、农舍间、集市上,从青年学子到白发老人,从机关干部到普通村民,越来越多的人捧出爱心、献出时间,让志愿微光汇聚成照亮乡村的璀璨星河,为五横乡的发展注入滚烫的生命力。

  环境整治的战场上,志愿红马甲是最亮眼的底色。青年志愿服务队扛着工具奔走在整治一线,河道里的漂浮物、路边的杂草堆、墙角的废弃杂物,都被他们一一清理干净。“3·5”学雷锋纪念日当天,百余名志愿者分片行动,用半天时间让三条多年未彻底清扫的小巷焕然一新;植树节里,他们带着树苗在荒坡上忙碌,培土、浇水,细致得像对待自家菜园,数百棵新栽的树苗在春风里挺直腰杆。曾经的卫生死角变成了整洁的小广场,堆满垃圾的河岸种上了花草,村民们走在路上,看着越来越清爽的家园,脸上的笑容也多了起来。

  志愿者们会定期前往孤寡老人的住所,为其打扫房间、购置生活所需物品。他们陪伴老人聊天以排解其烦闷,倾听老人讲述过往经历,为老人的生活带去温暖与慰藉。在关爱留守儿童领域,志愿者们借助“宜童享未来”暑期课堂等活动,为孩子们辅导课业,开展各类兴趣课程。来自多所院校的大学生志愿者以耐心与爱心为孩子们开启知识的大门,充实了孩子们的暑期生活,助力他们健康成长。

  文明实践的舞台上,志愿红马甲是最活跃的主角。新时代文明实践所联合各方力量,把服务和欢乐送到村民家门口。“文明大集市”定期开集,医务人员搭起临时诊疗台,量血压、听心率,还手把手教老人做降压操;理发师带着工具来摆摊,免费给村民剪发,剪完还会给老人梳个精神的发型;非遗传承人现场教捏泥人,孩子们围在旁边学得不亦乐乎。机关干部志愿者则化身“宣讲员”,用村民听得懂的土话讲政策、说故事,把“绿水青山就是金山银山”的道理融进身边的变化里。这些活动像磁石一样吸引着村民,有人来办事,有人来学艺,有人来聊天,热闹的场面里藏着浓浓的烟火气和幸福感。

  如今的五横乡,志愿精神已融入乡风吹进人心。越来越多的村民从“看客”变成“参与者”,曾经受助的张大叔主动加入环境整治队,被辅导过的孩子假期当起“小小志愿者”。这抹志愿红,不仅擦亮了乡村的颜值,温暖了百姓的日子,更凝聚起共建家园的力量,让五横乡在乡村振兴的路上走得更稳、更暖。(通讯员 张佳)

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  经过历时七天的精彩角逐,7月27日晚,2025年“天柱山杯”少儿京剧票友大赛在潜山市新时代文明实践中心圆满落幕。

  颁奖晚会在《四郎探母・坐宫》中拉开序幕,从《闹龙宫》的灵动翻跃,到跨洋而来的《贵妃醉酒》,小选手们韵味悠长的曲调、生动细腻的表演,让观众大饱耳福眼福。

  据了解,此次赛事共有全国17省市、港澳台地区,以及加拿大的132个节目同场角逐。最终评选出一等奖8名、二等奖12名、三等奖18名。

  “程长庚是从潜山走出去的具有世界影响的伟大艺术家。今年也是徽班进京235周年,在先生的家乡举办少儿京剧票友大赛,不仅是对历史的深情回望,更是对“徽班精神”的当代表达。潜山作为“皖源”之地,拥有深厚文化底蕴及“京剧鼻祖”程长庚这一文化名片,欢迎全国、全世界热爱京剧的朋友们,来潜山寻根探源,敬长庚,扬国粹,登天柱,得天助!”主办方天柱山管委会相关负责人表示。(余雪峰)

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9月25日,杭州亚运会将产生38枚金牌。游泳赛场精彩继续,覃海洋、叶诗文、徐嘉余等游泳名将轮番登场;体操赛场同样值得关注,期待中国体操女团冲金成功。这些看点不容错过。

看点1:中国体操女团剑指冠军 48岁丘索维金娜再战亚运

9月25日,亚运会竞技体操女子资格赛暨团体决赛将拉开帷幕,竞技体操是中国代表团亚运冲金的传统优势项目,女队在亚洲的领军地位也一直十分稳固,已经实现女团12连冠。

本届亚运会虽然主场作战,但中国女子体操队面临的挑战却并不小,特别是最大对手日本队将对中国女团发起强有力的冲击。竞技体操女子资格赛暨团体决赛将于19:30开始,代表中国女团出战的章瑾、唐茜靖、虞琳敏、张欣怡、左彤将目标锁定为冠军。

同样值得关注的还有被中国网友亲切称为“丘妈”的乌兹别克斯坦体操运动员丘索维金娜,已经年满48岁的她,再次复出来到杭州亚运会。“我还没能为祖国乌兹别克斯坦拿到一枚(重要赛事的)奖牌,我不能就这样结束我的体操生涯。”

唯有热爱,可抵岁月漫长!这次杭州亚运会,她将取得怎样的成绩?让我们一起拭目以待。

看点2:游泳赛场精彩继续,覃海洋能否顺利拿下个人首金

9月25日,游泳项目将产生7枚金牌。覃海洋在男子100米蛙泳、徐嘉余在男子50米仰泳、万乐天和汪雪儿在女子50米仰泳、余依婷和叶诗文在女子200米个人混合泳上具备夺金实力。

覃海洋在24日晚的比赛中不敌队友汪顺,夺得男子200米混合泳亚军。他能否在游泳赛事第二日顺利拿下个人首金,备受关注。

中国香港名将何诗蓓在女子200米自由泳上有较强的实力;男子4×200米自由泳接力将是一场龙虎大战。

看点3:射击项目产生多金,男子10米气步枪、男子手枪速射值得关注

9月25日,射击项目将产生6枚金牌。其中男子10米气步枪、男子手枪速射项目中国队高手云集,盛李豪、余浩楠、杜林澍及在世锦赛25米手枪速射项目上创造世界纪录的老将李越宏将为观众奉献精彩表演。

看点4:团体半决赛开战!期待国乒男女队继续乘风破浪

9月24日,中国队选手马龙在比赛中回球。

9月25日,亚运会乒乓球项目将展开男女团体半决赛较量。

11:00,中国乒乓球女队将在半决赛与泰国队交锋,后者在四分之一决赛中以3比2险胜朝鲜队,另外一场半决赛将由韩国对阵日本。18:30,中国乒乓球男队将在半决赛中对阵中国台北,另外一场半决赛将在韩国与伊朗之间进行。值得一提的是,伊朗男乒在四分之一决赛中爆冷以3比0击败了日本队。这批黑马能否继续取得突破,我们拭目以待!

期待国乒将士披荆斩棘,晋级决赛!

资料来源:杭州亚运会官网、新华网、中国体育报、中国奥林匹克委员会微博、光明网、都市快报、新京报等,具体比赛情况以实际为准。

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亚运看点丨体操女团期
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探索2026-06-27
  党的二十大报告指出,要全面推进乡村振兴,坚持农业农村优先发展,巩固拓展脱贫攻坚成果,加快建设农业强国,扎实推动乡村产业、人才、文化、生态、组织振兴。在包河,以大圩镇磨滩村为样本,对照产业兴旺、生态宜居、生活富裕等要求,正在积极探索乡村振兴的崭新实践。

  开车沿着花园大道一路向东,昔日主打葡萄产业的农业乡镇大圩镇正迎来另一幅发展光景。虽已是小雪时节,但这里还藏着最后一抹秋色,新河湖畔林水相见、色彩斑斓,俨然一幅江南水乡意蕴。

  大圩镇磨滩村,距离主城区约16公里,三四年前还是合肥近郊的一个普通小村庄,村民们或务农或外出打工。如今,乡村、民宿、稻田、露营……众多“网红要素”齐聚,让这个默默无闻的小村庄成了一处“宝藏打卡地”。今年国庆长假期间,这里成为合肥市民近郊游的首选地,精品民宿几乎“一房难求”。

  “圩美·磨滩”是合肥市首批乡村振兴重点项目。近年来,抢抓国家实施乡村振兴战略的重大机遇,我区成立区属国企——包河区乡村振兴有限公司,利用磨滩村原有的村庄肌理和自然资源,打造集文化体验、都市农业、乡村旅游、主题度假于一体的文化生态旅游目的地。

  据悉,“圩美·磨滩”项目占地约4200余亩,总投资约15.3亿元,规划建设内容包括生态湿地、精品民宿、民俗街区、休闲农业和度假酒店。其中,精品民宿板块已基本完工,在设计理念上融入“渔、樵、耕、读、茶”等不同主题文化元素,留住乡愁文脉,让游客沉浸自然乡野。

  搭上“文旅快车”,让磨滩这个籍籍无名的普通小村庄迎来了“高光时刻”,原本沉寂在岁月中的乡野村路、水塘沟渠、林木民舍,在匠心雕琢中重焕生机。除了肉眼可见的生态环境变化,启动“圩美·磨滩”乡村振兴项目,还解决了村民就近就业问题,实现了村集体经济的持续增收。

  46岁的黄典飞是土生土长的磨滩人,在外做了二十多年的水电工,今年9月,黄典飞在家门口找到了新工作,成功入职“圩美·磨滩”,负责景区的水电维修工作。“以前在外打临工,总感觉不稳定,现在在家门口上班,公司还缴纳五险一金,收入也比以前高了,心里踏实多了。”

  此外,黄典飞还多了一个身份——磨滩村股份经济合作社“村民股东”。2019年磨滩整村征迁后,村里成立了股份经济合作社,村民们以土地使用权流转入股参与“圩美·磨滩”乡村振兴项目,按照“保底分红+增益分红”原则,每年可获得2000元/亩分配收益。去年春节前,包括黄典飞在内的376户磨滩村民迎来了项目首次分红,黄典飞家的一亩来地收到了2400多元的分红款。

  “下一步,我们将把集体土地使用权流转入股项目收益和集体经营性资产所获得收益用作可持续发展资金,继续壮大村集体经济,实现集体增收、群众分红的良性发展格局,让村民享受到越来越多的红利。” 磨滩村党总支书记、村股份经济合作社理事长刘钰表示。(杜静 明薇 王娟 叶玉庭)

  

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在全球玻璃行业的一项颠覆性飞跃中,GlassKote FGI(简称GK)已确认获得超过12亿澳元的资金,用于建设两座全球最先进的低铁浮法玻璃厂——第一座将于2026年初在澳大利亚昆士兰州动工,第二座将在随后几个月于阿拉伯联合酋长国开工。

GK的昆士兰项目将于2026年初启动,其特点包括:

每日700吨低铁玻璃,适用于建筑、太阳能和特种应用。每天400吨的垃圾发电设施,采用专有Cyrion技术,可零排放生产绿色氢能和可再生电力。面向国内和出口市场的一体化大猩猩玻璃生产。硅纳米管集成与DNA人工智能“活体玻璃”技术——可实现自修复、抗震且能源优化的玻璃产品。用于建筑一体化光伏(BIPV)和智能玻璃的集成太阳能玻璃制造。用于夹层玻璃、钢化玻璃、防弹玻璃、低辐射玻璃和阳光控制玻璃的高级镀膜及增值生产线。

该工厂将填补澳大利亚的玻璃供应缺口。在昆士兰州大型工厂投产后的第二年,GK将开始在澳大利亚建设第二座日产能700吨的标准浮法玻璃厂。

阿联酋的这一设施将于2026年年中启动,它将是中东和北非地区同类设施中规模最大、技术最先进的,其功能包括:

每天1000吨优质低铁浮法玻璃,适用于建筑、可再生能源和特种市场。用于电子、汽车和建筑领域的超薄、抗冲击玻璃的大猩猩玻璃生产线。硅纳米管集成与DNA人工智能“活体玻璃”技术——可实现自修复、抗震且能源优化的玻璃产品。用于建筑一体化光伏(BIPV)和智能玻璃的集成太阳能玻璃制造。用于夹层玻璃、钢化玻璃、防弹玻璃、低辐射玻璃、阳光控制玻璃和超大尺寸玻璃面板的高级镀膜及增值生产线。

改变工厂的经济效益、正常运行时间和环境绩效。

小玻编译

如何让全球买家找到优秀的中国玻璃供应商?中玻跨境 即将走进土耳其

【破内卷 拓海外】2025中玻跨境护航中国玻璃“走出去,开新局”!

中国玻璃网()公告

墨西哥加速发展玻璃行业

别错过!三月200余条玻璃采购订单来袭!

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GlassKote
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近日外媒IGN为《红色沙漠》打出最终评分,和此前临时评分一样,仍为6分。评测人游玩了130个小时,认为这款游戏战斗乏味,剧情糟糕,Bug太多。

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讯(记者 姜燕)“五一”假期,博物馆热再度掀起高潮。山西博物院倾力打造的两台展现山西特有文化的重磅展览开幕,多维度展示山西丰富古建筑资源、展现宋金时期壁画的独特魅力。

山西古建筑数字艺术展——时空变调将传统文化与当代艺术链接,展出20位来自不同国家地区艺术家的山西古建筑艺术作品以及雕塑、装置、影像等立足时代前沿的七大板块形式作品,呈现一场跨越时空的文明对话,探索中国古代建筑精神与当下艺术表达之间的传承、融合与创新。

图片来源:山西博物院提供

展览以山西古建为切入点,在新时代语境下从艺术创作角度共同解读山西古建筑文化,是一次在博物馆场景下的跨领域、跨学科、跨身份的艺术实践和对话。在传承“天人合一”理念的同时,再造思辨现场,展望未来场景,呈现人文与思想、艺术与科技的多元交织,美美与共,带领观众欣赏一场满载思想、人文、艺科的联动。

“壁上万千——山西宋金壁画中的众生气象”首次集中展示了89件(15组)珍贵的山西宋金壁画及砖雕文物,生动呈现了宋金壁画中的家园、家庆、家风、家愿等主题,让观众仿佛穿越时空,置身于宋金时期的生活场景之中,来一场跨越千年的“对话”。

值得一提的是山西博物院藏珍贵文物《郝匠金墓》,该墓于2013年发现于山西晋城市郝匠社区,为砖砌仿木结构双室墓。根据墓志,该墓建于金大定十五年(1175年),为研究金代社会生活和宗教文化提供了珍贵的信息。硕大的墓葬以裸展的形式在展厅得以呈现,带给观众视觉上的震撼。

两大展览展出至10月31日,长达6个月之久。围绕“壁上万千——山西宋金壁画中的众生气象”,山西博物院还将推出“宋金文化”系列讲座以及点茶、插花、掐丝镜制作、宋服制作、蹴鞠球缝制等动手体验活动,让观众可以品味山西独特的历史文化,感知历史与现实碰撞出的艺术火花,一同领略山西的文物之美、古建之美。

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  以己微光,温暖着一座城市。怀宁县高河镇天骄苑小区59岁居民朱树生,就是这样一个人。

  自1999年第一次与无偿献血结缘以来,他坚持了25年,截至今年6月,朱树生已经献出22600毫升的血液,献血总次数达到89次。他两次获得国家级无偿献血金奖,2019年获得“安徽省无偿献血之星”荣誉称号。今年被评为“怀宁好人”。

  25年,他献出“5个自己” 

  谈及第一次献血的经历,朱树生说,那是一次偶然的际遇。“1999年的一天,我在安庆市区维修家电,偶然间看到了一辆献血车,便走进去,献了400毫升血。当时送了一个纪念手提包,上面印着‘施比受更幸福’几个字。”朱树生说,正是这几个字的激励,从此他便与无偿献血结下了不解之缘。

  献血分为献全血和血小板,两者储存时间不一样,人体恢复期也不同。2011年之前,朱树生对无偿献血的知识不甚了解,每次都献全血,恢复期为半年。2011年,他的献血总量达到一定标准,安庆红十字中心血站提供了一次旅游福利。在这次旅游的过程中,他遇到了安庆市无偿献血协会的会长,并被邀请加入协会。

  此后,他开始捐献血小板,献血次数更加频繁。因为捐献血小板恢复期为一个月,只要血站一个电话,无论风雨,他都会第一时间奔赴。

  2019年9次、2020年6次、2021年12次、2022年12次、2023年5次……翻开朱树生手机里的献血记录,自1999年第一次献血以来,他已经献血89次,其中80次为机采血小板,折合成全血累计献出22600毫升。

  这些数字意味着什么?一个成年人全身的血液量约为4000至5000毫升,22600毫升相当于他全身血液换了5遍。如果按救助一个病人平均需要800毫升血液计算,这些血液已让近28个生命垂危患者重获生的希望。

  根据安庆中心血站提供的数据,朱树生成为可以查证的怀宁籍居民在安庆和怀宁采血点无偿献血量最多的无偿献血者。

  雪是冰的 血是热的 

  全血可以储存35天,血小板储存期只有7天。由于储存时间太短,所以血小板一般不提前采集储存,只有在医院提出使用申请时,血站才找献血者前来采集。血站系统里能够参与这种应急献血的人并不多。朱树生是其中之一。

  2018年2月1日,朱树生接到安庆血站的紧急电话,“有病人急需血小板,能过来吗?”“能!”身在怀宁的他毫不犹豫地答应了。挂完电话,朱树生立刻穿衣出门。那天雪下得很大,怀宁到安庆的国道几乎冻成了冰道。朱树生就在这条打滑的雪路上,自驾40公里赶到市中心血站,献出了一个治疗量的血小板。病人家属十分感动,不仅对朱树生万分感谢,还掏出钱,想要作为谢礼,但被朱树生婉拒。“雪是冰的,血是热的。那样的天气,要是别的什么事我肯定不愿意出门,但是病人情况紧急,大冬天本身就不好找人,如果我拒绝了,就会耽误病人救治。”朱树生说。

  脑瘤术后的病人急需血小板、骨癌急需献血……朱树生已经记不清他救助的病人是在什么情况下急需血,但是他知道,每次情况都很紧急。“每当在血站看到家属渴望的眼神,我都为自己能够拯救生命做一点奉献而感到荣幸。救助别人,感觉比自己得到帮助还要开心。”朱树生表示。

  将热血能量传得更远 

  朱树生说,一个人献血一百次,不如让一百个人各献一次血。在平时的工作生活中,一有机会他就向朋友、同事们科普献血知识,讲述自己无偿献血的经历,带动朋友们加入无偿献血队伍中来,并长期通过网络媒体宣传无偿献血。他还经常到相关单位和协会开展无偿献血宣传,组织开展集体献血。据不完全统计,朱树生共组织过近20次的集体献血活动,参与献血的志愿者超过600人次,累计献血量超过20万毫升。

  加入安庆无偿献血者协会以后,他经常到献血点做服务,让更多的人加入这个爱心行列中来。截至目前,他义务服务时间已超过300小时。

  他还通过骑行扩大宣传范围。2018年起,他在自己的单车上插上一面“无偿献血,救人利己”的小旗,想着“播下了一颗种子,随时可能会发芽”。他一路骑行,一路宣传无偿献血。骑行轨迹涉及6个省,总距离超过3万公里。2018年7月19日是他54岁的生日,这一天他正好骑行路过河南周口,他找到当地血站,捐献了一个单位的血小板,他用这种方式送给自己一份特殊的生日礼物。

  “人的生命是有限的,能够献血的时间和献血量更是有限的,但爱心的力量却是无限的。明年我就到了法定献血的最大年龄,我会坚持到最后一刻……”朱树生说。(记者 雷琳琳 通讯员 王凤高 实习生 邵文静)

  

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朱树生:每一次挽袖都为点亮生命火种
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随着半导体制程向先进节点演进,3D 晶体管架构与多层互连堆叠技术的规模化应用,使得器件缺陷的隐蔽性与检测难度显著提升。传统光学检测技术已难以满足电学相关缺陷的识别需求,而电子束检测的效率瓶颈又制约了量产应用。DirectScan检测通过核心技术创新破解了这一行业痛点,为下一代半导体制造提供了高效、精准的检测解决方案。


本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面,对该技术进行系统性解析。


一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口


当前半导体制造技术正经历关键变革:鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极(GAA)纳米带晶体管替代,中段制程(MOL)因多重图形化技术的应用,堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部,传统光学检测手段难以有效识别。


同时,先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性,集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”,此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发,成为影响良率的核心因素。


行业面临的核心矛盾在于电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术,但传统电子束检测采用光栅扫描模式,效率远低于光学检测,无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现,为破解这一矛盾提供了可行路径。


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二、DirectScan 核心技术架构:PointScan 的创新逻辑


DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具FIRE GDS 版图分析平台Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成,其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构,主要体现在以下三方面:


1

设计感知驱动的靶向检测

传统电子束检测采用无差别光栅扫描,需覆盖包括介质区域在内的全部区域,且无法识别被测目标的图形特征;PointScan 技术具备非接触式电学测试特性,可精准跳转至目标器件的关键位置(如焊盘、接触点),仅对有效检测区域实施电压衬度检测,完全规避介质区域的无效扫描,实现 “按需检测”。

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2

检测效率的量级提升

通过 FIRE 平台的精细化版图分析,可精准筛选出需检测的 “关键区域”,大幅缩减检测范围:

后段制程金属 3 层通孔检测:仅需扫描总可检测面积的 2.5%

中段制程栅极 - 漏极短路检测:仅需扫描总接触点的 1%

栅极残筋检测:可规避 50%-75% 的介质区域,检测面积缩减至传统方案的 10% 以下


基于上述优化,PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍,每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。


3

设计感知学习与属性分析能力

DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合,可实现跨多层版图的属性提取,包括触点类型(漏极 / 栅极)、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。


eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码,可与版图特征精准匹配,工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率,快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案,为工艺优化提供数据支撑


三、高难度场景的应用突破


PointScan 技术的低电荷沉积特性,使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破:


背侧供电网络(BSPDN)晶圆检测


键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导,导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题;PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量,有效缓解上述问题,已完成实际应用验证。


3D DRAM检测


3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积,此前检测难度较高,DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。


DRAM 阵列短路检测


独有的可控 “充电 - 检测” 功能,可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号,使特定岛状节点呈现高亮状态,清晰识别与浮空相邻触点的短路问题,该功能为传统光栅扫描技术所不具备。


四、行业落地实践与全流程应用


自 2022 年初起,eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地,目前两套设备投入大批量生产,第三套设备处于产能爬坡阶段,应用场景覆盖半导体制造全流程


先进逻辑芯片制造


中段制程:GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测

后段制程:M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测

背侧供电网络:电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测

随机逻辑电路漏电情况评估


先进 DRAM 制造(2024-2025 年)


外围电路:栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位

存储阵列:基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测


技术总结


在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下,检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合,在保留电子束检测高灵敏度的基础上,实现了检测吞吐量的量级提升,同时破解了高难度场景的检测难题


该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷难识别、难检测” 的问题,更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级,为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。

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DirectScan 技术解析:下一代半导体电子束检测的创新路径与应用
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